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电子显微镜
厂家:Thermo Fisher Scientific
型号:Apreo C HiVac
分光光度计
厂家:PerkinElmer
型号:Lambda 950
普通方阻测试仪
厂家:SEMILAB
型号:1510EC SA
高阻方阻测试仪
厂家:Semimap
型号:COREMA-ER
Hall测试仪
厂家:Nanometrics
型号:HL5500PC
电化学掺杂测量仪(ECV)
厂家:Nanometrics
型号:ECV Pro
光致发光(PL)谱仪
厂家:Nanometrics
型号:RPMBlue
台阶仪
厂家:KLA-Tencor
型号:P-7
表面缺陷分析
厂家:KLA-Tencor
型号:Candela 8420
光学显微镜
厂家:Leica
型号:DM3 XL
高分辨X射线衍射仪
厂家:PANalytical
型号:X’Pert3 MRD