材料测试平台配备先进的化合物半导体外延材料和器件表征及测试设备，可实现外延片晶体质量，结构及器件光电性能分析测试，并提供相关技术支持。目前已经建立的测试技术包括晶体质量及材料结构测试，表面缺陷分析成像，高阻及常规方阻测试分析成像，台阶高度测试，材料反射率测试、掺杂浓度、迁移率、光致发光波长的测试，样品最大可支持6寸。