设备厂家：KLA-Tencor
型号：P-7
参数配置:
Microhead 5 SR 超稳定电容型探头，垂直测量范围 327 μm系统具有300mm口径的超大超平整平晶单线最大扫描长度200 mm单线测量采样点可达400万个XY 运动台闭环控制误差<1um, 闭环自动移动范围不少于200x200mm最高垂直分辨率0.01Å(13μm档) 327μm档分辨率 < 0.20 Å台阶高度重复性 4Å @ 1μm标样，无需防震台
Microhead 5 SR 超稳定电容型探头，垂直测量范围 327 μm
系统具有300mm口径的超大超平整平晶
单线最大扫描长度200 mm
单线测量采样点可达400万个
XY 运动台闭环控制误差<1um, 闭环自动移动范围不少于200x200mm
最高垂直分辨率0.01Å(13μm档) 327μm档分辨率 < 0.20 Å
台阶高度重复性 4Å @ 1μm标样，无需防震台
台阶仪用于测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。