设备厂家：Nanometrics
型号：ECV Pro
参数配置:
测量频率范围347Hz~27.7kHz使用铂金电极，而非甘汞电极标配mapping测试能力CCD实时测量电解液润湿面积固定电压受控腐蚀技术
测量频率范围347Hz~27.7kHz
使用铂金电极，而非甘汞电极
标配mapping测试能力
CCD实时测量电解液润湿面积
固定电压受控腐蚀技术
对半导体器件设计和制造，器件中的载流子浓度、掺杂厚度以及杂质分布都是必须严格控制的参数，ECV提供了对杂质的浓度及分布更精确可靠的测量。ECV方法利用合适的电解液即可作为合适的肖特基接触的电极测量C-V特性，又可进行电化学腐蚀，因此可以层层剥离测量电激活杂质的浓度分布，剖面深度不受反向击穿的限制，并可测量pn结。