设备厂家：SEMILAB
型号：1510EC SA
参数配置:
利用涡流原理无损快速测量晶圆所有导电层的方块电阻超低量程测量范围为 0.032 ~ 1.6 Ω/□ 测量标准偏差 0.1%~1.0%（因量程而异）线性度0.035~3000 Ω/□ < ± 3%
利用涡流原理无损快速测量晶圆所有导电层的方块电阻
超低量程测量范围为 0.032 ~ 1.6 Ω/□
测量标准偏差 0.1%~1.0%（因量程而异）
线性度0.035~3000 Ω/□ < ± 3%
非接触体电阻/方块电阻测试系统。器件制备过程中需要严格测试方块电阻，而方阻分布的整体信息以用来优化达到最大生产效率。Semilab LEI-1510测试系统可以实现方块电阻的无损检测。