设备厂家：Semimap
型号：COREMA-ER
参数配置:
最大150mm直径样品自调整，非接触式探头高度定位1E5 ohm-cm~1E12 ohm-cm 拓展测试通过测量电荷变化的瞬态谱获取高阻样品的电阻率测量范围 GaAs 1E6-1E9 ohm-cm, SiC 1E5-1E12 ohm-cm重复性优于1% (1E6-1E9 ohm-cm)最大数据点512×512
最大150mm直径样品
自调整，非接触式探头高度定位
1E5 ohm-cm~1E12 ohm-cm 拓展测试
通过测量电荷变化的瞬态谱获取高阻样品的电阻率
测量范围 GaAs 1E6-1E9 ohm-cm, SiC 1E5-1E12 ohm-cm
重复性优于1% (1E6-1E9 ohm-cm)
最大数据点512×512
COREMA-ER 用于测试高阻衬底上薄外延层的方阻值，例如GaN、SiCl或者蓝宝石衬底上的外延膜。作为一台高性能的方阻测试工具，可精确、重复和详细的表征半绝缘衬底的方块电阻。全晶圆横向分辨率小于1mm。可用于追踪产品控制以及支撑材料研发。