设备厂家：Nanometrics
型号：RPMBlue
参数配置:
最大6”衬底， 532nm 激光器，CW，50mW半导体制冷CCD，波长200-1100nm扩展InGaAs探测器阵列，波长900-1700nm扫描速度快，4”晶圆0.5mm分辨率用时184s，2mm分辨率用时19s最小空间分辨率100μm边缘(2~3mm)扫描与双分辨率扫描功能可加装低温附件（平移台、制冷机）
最大6”衬底， 532nm 激光器，CW，50mW
半导体制冷CCD，波长200-1100nm
扩展InGaAs探测器阵列，波长900-1700nm
扫描速度快，4”晶圆0.5mm分辨率用时184s，2mm分辨率用时19s
最小空间分辨率100μm
边缘(2~3mm)扫描与双分辨率扫描功能
可加装低温附件（平移台、制冷机）
光致发光为非接触，无损，光谱测量技术用来探索不同材料的电子结构。PL光谱用来用于获得不同结构或者材料的晶体结构发射信息。