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研究所简介

研究所简介

中科纳米张家港化合物半导体研究所,由张家港市人民政府投资建设,位于张家港市纳米产业园内。研究所传承院地合作,建设开放、服务性平台,开展纳米材料与器件关键技术研究,化合物半导体及其工艺的研究,及其相关领域应用技术开发、成果转化、技术咨询、培训与服务,建设成张家港乃至长三角地区化合物半导体和集成电路企业的高水平联合研发公共服务平台、国内具有知名影响力的化合物半导体和

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设备

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  • Close Coupled Showerhead

  • AIX_2800G4-TM

  • 氦检漏仪

  • 高温烘烤炉

  • 干式尾气处理器

电话:0512-58188220#8011 Email:mxiong2018@zk-zics.cn

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