设备厂家：Aixtron
型号：CCS
性能参数:
6x2英寸 3x3英寸基座喷淋头式反应腔室材料高质量、均匀性高源气效率高、维护成本低
6x2英寸 3x3英寸基座
喷淋头式反应腔室
材料高质量、均匀性高
源气效率高、维护成本低
喷淋头式反应腔室，源气效率更高，均匀性好，支持6X2英寸GaAs或者InP基材料生长。