设备厂家:文生真空科技股份有限公司
型号:HBM-800G
参数配置:
最高温度1400℃温度均匀性 1400℃九点±5℃真空度1E-3Torr,漏率5E-8 atm.cc/sec最大升温速率12℃/min(空炉)最大冷却速率 1400℃至60℃ 180分钟以内(空炉)
最高温度1400℃
温度均匀性 1400℃九点±5℃
真空度1E-3Torr,漏率5E-8 atm.cc/sec
最大升温速率12℃/min(空炉)
最大冷却速率 1400℃至60℃ 180分钟以内(空炉)
在氮气或混合气的气氛下利用高温烘烤的方式清除MOCVD外延工艺用石墨部件上的沉积物