高温烘烤炉

设备厂家:文生真空科技股份有限公司

型号:HBM-800G

参数配置:

最高温度1400℃

温度均匀性 1400℃九点±5℃

真空度1E-3Torr,漏率5E-8 atm.cc/sec

最大升温速率12℃/min(空炉)

最大冷却速率 1400℃至60℃ 180分钟以内(空炉)

介绍

在氮气或混合气的气氛下利用高温烘烤的方式清除MOCVD外延工艺用石墨部件上的沉积物