设备厂家：常州诚鉺正环保技术有限公司
型号：CEZD-200D
参数配置:
双桶配置，200L填料/桶最大气体处理量200slm/桶具有压力与温度安全互锁
双桶配置，200L填料/桶
最大气体处理量200slm/桶
具有压力与温度安全互锁
CEZD-200D 干式尾气处 理系 统 主 要用来处理 GaAs/InP MOCVD 设备产 生的含砷烷（AsH3）和磷烷（PH3）等 毒气。
