设备厂家：INFICON
型号：UL3000 和 UL1000 Fab
参数配置:
最小可检漏率 < 5 × 10-12 mbar l/s启动时间<3min响应时间<1s真空泵抽速 25m3/h(UL1000) 32m3/h (UL3000)对氦抽速(高灵敏模式) 2.5L/s(UL1000) 4L/s(UL3000)最大入口压力 1000mbar(UL3000)
最小可检漏率 < 5 × 10-12 mbar l/s
启动时间<3min响应时间<1s
真空泵抽速 25m3/h(UL1000) 32m3/h (UL3000)
对氦抽速(高灵敏模式) 2.5L/s(UL1000) 4L/s(UL3000)
最大入口压力 1000mbar(UL3000)
氦气无毒、惰性、不可燃等特性使得其成为成为很好的追踪气，且其分子小易于通过孔隙后被氦气质谱仪探测到。氦气检漏仪用于MOCVD设备的维护、工艺气体系统的检测与安装，通常设备气路与尾气过滤器使用不同的检漏仪。UL3000 FabUL1000 Fab
氦气无毒、惰性、不可燃等特性使得其成为成为很好的追踪气，且其分子小易于通过孔隙后被氦气质谱仪探测到。氦气检漏仪用于MOCVD设备的维护、工艺气体系统的检测与安装，通常设备气路与尾气过滤器使用不同的检漏仪。
UL3000 Fab
UL1000 Fab