设备厂家：Aixtron
型号：2800G4-TM
性能参数:
产能大、效率高、低成本灵活配置2到6英寸自动传片系统（TM）三路进气生长GaAs、InP基材料生长
产能大、效率高、低成本
灵活配置2到6英寸
自动传片系统（TM）
三路进气
生长GaAs、InP基材料生长
AixtronG4-TM金属有机化合物气相沉积系统，用于生长光电器件、P-HEMT/HBT等。