氢气钯膜纯化器

设备厂家:赛斯

型号:PS7-PD1-70

参数配置:

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介绍

钯膜纯化器用以获得高纯氢气作为MOCVD生长用氢气载气。氢气钯膜纯化器利用氢原子扩散通过加热的钯膜以到达高纯,可以去除杂质到ppb级以下水平。